1 简介

真空(kong)泵是一种旋转式变容真空(kong)泵须(xu)有前级泵配合方(fang)可(ke)使(shi)用(yong)在(zai)较宽的(de)压力(li)范(fan)围(wei)内有较大的(de)抽(chou)速对被(bei)抽(chou)除气体(ti)中(zhong)含有灰尘和水蒸汽不敏(min)感广(guang)泛(fan)用(yong)于冶金、化(hua)工、食品、电子镀膜(mo)等行(xing)业(ye)。[1]

2 特点

(1)在较宽的(de)压力范围内有较大(da)的(de)抽速；

(2)转(zhuan)子(zi)具有良(liang)好的几何(he)对称性，故振(zhen)动(dong)小，运(yun)转(zhuan)平稳。转(zhuan)子(zi)间及转(zhuan)子(zi)和壳体间均有间隙，不用润滑(hua)，摩(mo)擦损(sun)失小，可大大降低驱动(dong)功(gong)率，从而(er)可实现较高转(zhuan)速(su)；

(3)泵(beng)腔内无(wu)需用油密封和(he)润(run)滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；

(4)泵腔内无(wu)压(ya)缩，无(wu)排气阀。结构简单、紧凑，对被(bei)抽(chou)气体(ti)中的灰尘和水蒸(zheng)汽(qi)不敏感；

(5)压缩比(bi)较低，对氢(qing)气抽气效果差；

(6)转子表面为(wei)形(xing)状(zhuang)较为(wei)复杂的曲线(xian)柱面，加工和检(jian)查比较困难。

3 结构

（1） 泵总体(ti)结构型式

真空泵的(de)泵体(ti)的(de)布置结构决定了泵的(de)总体(ti)结构。

立式结构的进、排气口水(shui)平(ping)设置，装配(pei)和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在(zai)高速运转(zhuan)时稳定性(xing)差，故这种(zhong)型(xing)式多(duo)用(yong)于小泵。

卧式泵(beng)的进气口(kou)在上(shang)，排(pai)气口(kou)在下。有时(shi)(shi)为(wei)了真空系(xi)统管(guan)道安装连接(jie)(jie)方便，可(ke)(ke)将排(pai)气口(kou)从水平方向接(jie)(jie)出，即进、排(pai)气方向是相互(hu)垂直的。此时(shi)(shi)，排(pai)气口(kou)可(ke)(ke)以从左(zuo)或右(you)两个方向开口(kou)，除(chu)接(jie)(jie)排(pai)气管(guan)道一端外，另(ling)一端堵死或接(jie)(jie)旁(pang)通阀。这种泵(beng)结(jie)构重心低(di)，高速运(yun)转时(shi)(shi)稳定性好。一般大、中型泵(beng)多采(cai)用此种结(jie)构。

泵(beng)的(de)两(liang)个转子(zi)轴与水平面垂直安(an)装。这种结构装配间隙(xi)容易控制，转子(zi)装配方便，泵(beng)占地面积小。但泵(beng)重心较(jiao)高(gao)且齿轮拆装不便，润滑机(ji)构也(ye)相对复杂。

（2） 泵(beng)的传动方式

真空泵的(de)(de)两个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)是通(tong)过(guo)一(yi)对高精度齿(chi)轮来实现其相对同步运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)(de)。主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)轴(zhou)通(tong)过(guo)联轴(zhou)器与(yu)电机(ji)联接。在(zai)传动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)结构(gou)布置上主(zhu)(zhu)要(yao)有以下两种：其一(yi)是电动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)机(ji)与(yu)齿(chi)轮放在(zai)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)的(de)(de)同一(yi)侧如(ru)图。从动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)由电动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)机(ji)端齿(chi)轮直接传过(guo)去带动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)，这(zhei)(zhei)样主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)轴(zhou)的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形(xing)小，则两个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之(zhi)间(jian)(jian)的(de)(de)间(jian)(jian)隙不会因主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)轴(zhou)的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形(xing)大而改变，故使(shi)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之(zhi)间(jian)(jian)的(de)(de)间(jian)(jian)隙在(zai)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)程(cheng)中均匀。这(zhei)(zhei)种传动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)方式的(de)(de)最(zui)大缺(que)点是：a.主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)轴(zhou)上有三个轴(zhou)承，增加了泵的(de)(de)加工和装配难度，齿(chi)轮的(de)(de)拆(chai)装及调整也不便；b.整体结构(gou)不匀称，泵的(de)(de)重心偏向电动(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)机(ji)和齿(chi)轮箱一(yi)侧。

    极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)一(yi)个(ge)重要(yao)参(can)数，是(shi)反应泵(beng)抽气能力的(de)(de)特性值，是(shi)与真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)(de)一(yi)个(ge)数值，不(bu)同的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)可以有不(bu)同的(de)(de)“极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”度(du)(du)。而“理(li)论真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)理(li)论研究时(shi)(shi)的(de)(de)一(yi)个(ge)概念，是(shi)排除各(ge)种实际因素的(de)(de)影响而提炼出的(de)(de)一(yi)种最(zui)理(li)想的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容器经(jing)充分抽气后(hou)，稳定在某一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)(du)，此真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)(du)称为极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容器须经(jing)12小(xiao)时(shi)(shi)炼气，再经(jing)12小(xiao)时(shi)(shi)抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，最(zui)后(hou)一(yi)个(ge)小(xiao)时(shi)(shi)每隔10分钟测量一(yi)次，取其10次的(de)(de)平均(jun)值为极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)值。